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显微激光测振仪

显微激光测振仪是一款全新的集多功能于一身的非接触式振动测量仪器，也是一款可视化显微测量分析的理想工具。它可以通过显微光学系统实现对微小物体的振动测量，可以精确测量MEMS等微小结构元器件的振动状态（频率、速度、加速度、位移等信息），激光光斑达微米量级，并可通过显微成像系统实时精确定位被测点位置。